联用技术
双束电镜-飞行时间二次离子质谱联用方案
双束电镜-飞行时间二次离子质谱联用方案
FIB-SEM-TOF-SIMS联用系统可以提供元素定性（从氢元素开始）分析、快速空间分辨率面分布分析，可以检测各种微量元素，检测浓度可达几个ppm，并可区分同位素。TOF-SIMS集成在FIB-SEM系统上，省掉了标准质谱仪的离子源，同时利用SEM-FIB的强大功能（成像，蚀刻，沉积，光刻，微操作等），可以通过加工样品实现对特定纳米结构进行SIMS分析......
双束电镜-飞行时间二次离子质谱联用方案
FIB-SEM-TOF-SIMS联用系统可以提供元素定性（从氢元素开始）分析、快速空间分辨率面分布分析，可以检测各种微量元素，检测浓度可达几个ppm，并可区分同位素。TOF-SIMS集成在FIB-SEM系统上，省掉了标准质谱仪的离子源，同时利用SEM-FIB的强大功能（成像，蚀刻，沉积，光刻，微操作等），可以通过加工样品实现对特定纳米结构进行SIMS分析......