中国电镜用户之家

“TESCAN电镜学堂”又跟大家见面了，利用扫描电镜观察样品时会关注分辨率、衬度、景深、形貌的真实性、其他分析的需要等等，不同的关注点之间需要不同的拍摄条件，有时甚至相互矛盾。今天主要谈一谈如何根据样品类型以及所关注的问题选择合适的加速电压？

电镜的工作条件包括很多，加速电压、束流束斑、工作距离、光阑大小、明暗对比度、探测器的选择等。本期将为大家介绍工作距离的影响。

关注分辨率、衬度、景深、形貌的真实性、其它分析的需要等等，不同的关注点之间需要不同的电镜条件，有时甚至相互矛盾。因此我们必须明确拍摄目的，寻找最适合的电镜条件，而不是贸然的追求大倍数。

利用扫描电镜观察样品时会关注分辨率、衬度、景深、形貌的真实性、其他分析的需要等等，不同的关注点之间需要不同的拍摄条件，有时甚至相互矛盾。那我们该如何根据样品类型以及所关注的问题选择合适的电镜条件呢？

要获得一张清晰的电镜照片，必须要能够做好最基本的电镜操作、以及针对各种样品做出工作条件的优化。基本操作包括熟练的调节对焦和消像散。而分辨率是扫描电镜最基本的性能判断指标，首先我们要弄清扫描电镜分辨率的一些细节问题。

这儿是TESCAN电镜学馆，将持续为大伙儿更新连载《扫描电子显微镜及微区分析技术》(这书介绍请至文尾查询)，协助众多电镜工作人员深入了解电镜有关新技术的基本原理、构造及其全新发展状况，将电镜在材料科学研究中激发出更为出色的特性！第二节 独特试样的解决针对一些独特的试样，除开基本制样方法外，很有可能还要一定的特别解决。§1. 金相试样金相试样要通过严谨的打磨抛光程序流程，为了更好地在电镜下...

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TESCAN自动矿物分析系统TIMA（TESCAN Integrated Mineral Analyzer）可以对岩石、矿石、精矿、尾矿、浸出残渣以及冶炼产物等样品进行快速的矿物定量分析。通过TIMA自带的分析软件，结合BSE图像和EDS信息，使用者可以高效获取样品的矿物组成及含量、矿物解离与共生关系、颗粒的形态、大小及分布关系、以及元素和孔隙的相关基础信息（图1）。图1 TIMA可快速提供...

扫描电镜利用产生汇聚的电子束，轰击样品，产生各种信号，例如二次电子，背散射电子，吸收电子，X射线等。不同的信号携带有不同的衬度。最常见的衬度有形貌衬度和成分衬度。还有一种在晶体材料中常见的衬度就是电子通道衬度，即ECC（El...

扫描电子显微镜主要由电子光学系统、信号收集处理系统、真空系统、图像处理显示和记录系统、样品室样品台、电源系统和计算机控制系统等组成。第一节 电子光学系统电子光学系统主要是给扫描电镜提供一定能量可控的并且有足够强度的，束斑大小可调节的，扫描范围可根据需要选择的，形状完美对称的，并且稳定的电子束。电子光学系统主要由电子枪、电磁聚光镜、光阑、扫描系统、消像散器、物镜和各类对中线圈组成，如图3-...

第四节 各种信号与衬度的总结前面两节详细的介绍了扫描电镜中涉及到的各种电子信号、电流信号、电磁波辐射信号和各种衬度的关系，下面对常见的电子信号和衬度做一个总结，如图2-36和表2-4。图2-36 SEM中常见的电子信号和衬度关系　　表2-4 SEM中常见的电子信号和衬度关系第五节 荷电效应扫描电镜中还有一种不希望发生的现象，如荷电效应，它也能形成某些特殊的衬度。不过在进行扫描...

第三节 扫描电镜像衬度形成原理 　 扫描电镜通过电子束在样品表面周而复始的进行扫描运动，同时实时监测各种信号图像的产额，然后根据产额的多少调制成图像。 引起各种信号产额扫描电镜像衬度的来源有三个方面：① 试样本身性质（表面凹凸不平、成分差异、取向差异、表面电位差别等）；② 信号本身性质（二次电子、背散射电子）；③对信号的人工处理。 §1. 形貌衬度 样品所谓的形貌...

以石墨烯、BN、MoS2为代表的二维材料因其特殊的性能成为现在科研领域的新宠。现在，除了石墨烯和MoS2等热度较高的二维材料之外，很多其他类型的二维材料也相继被开发出来。然而真正的二维材料因为厚度极薄，在扫描电镜下衬度较低；而且因为X射线在深度方向的穿透，EDS对二维材料上的分析也无能为力。而目前的二维材料除了用到SEM之外，拉曼光谱也是极其重要的表征手段，而将两者完全一体化的电镜-拉曼系统...

在使用扫描电镜进行形貌观察的时候，有时为了能同时获取形貌和成分衬度的图像，会采取多通道探测器同时进行 SE 和 BSE 的信号采集的方式。SE 和 BSE 图像虽然都可以满足形貌观察的要求，但是它们对形貌的表现却并不完全一致，尤其是需要对样品进行精确测量的时候。两者的测量结果可能会存在很大误差，哪一个结果才是正确的？是什么导致了误差的出现？如何解决这一问题？...这就是我们今天准备深入探讨的...

前三章我们详细介绍和分析了在各种模式下，二次电子和背散射电子以及各种衬度之间的特点，本章节内我们会对这些内容行回顾和总结。信 号 类 型二次电子（SE）按照其产生的原理可以分成 SE1、SE2、SE3 和 SE4，但是在实际使用的时候会发现难以对 SE1～SE4 进行严格的区分，因此我们把 SE 分成更加实用、更容易从操作上掌握的低角 SE、高角 SE 和轴向 SE 这三种 SE 信号。 ...

前两个章节我们详细分析了二次电子SE和背散射电子BSE，并对这两者进行了更细致的分类，对它们产生的原因和衬度及其它特点也做了详细的说明。相信读者对这些不同的信号已经有了全新的认识。这一章节我们就要把这些不同类别的电子信号再进行一个回顾和总结。我们将常规定义的SE信号分成了低角SE、高角SE和轴向SE三个类别；又将BSE信号划分为低角BSE、中角BSE、高角BSE、Topo-BSE 和Low-...

上一个章节中我们详细的介绍了不同类型的二次电子的特点以及它们与衬度的关系，今天让我们来认识一下扫描电镜中另一个极其...

　　二次电子(SE)和背散射电子(BSE)是扫描电镜(SEM)中最基本、最常用的两种信号，对于很多扫描电镜使用者而...